电子探针所分析的元素范围从硼(B)——铀(Ｕ)，因为电子探针成份分析是利用元素的特征 X 射线，而氢和氦原子只有 K 层电子，不能产生特征 X 射线， 所以无法进行电子探针成分分析。锂(Li)和铍(Be)虽然能产生 X 射线，但产生的特征 X 射线波长太长，通常无法进行检测，少数电子探针用大面间距的皂化膜作为衍射晶体已经可以检测 Be 元素。能谱仪的元素分析范围现在也和波谱相同，分析元素范围从硼(Be)——铀(Ｕ)。
