晶圆百级洁净烤箱，可编程洁净烘箱

晶圆百级洁净烤箱，可编程洁净烘箱概述

晶圆百级洁净烤箱，可编程洁净烘箱一种采用单面水平由后向前送风热风循环系统，风源由循环马达运转带动风轮经电热器，将热风由风道送至烤箱内部，且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热，省电节能温度均匀性好，过滤效率99.99%，Class 100的洁净烘箱

晶圆百级洁净烤箱，可编程洁净烘箱特点

Ø  在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 100；

Ø  全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；

Ø  采用单面水平由后向前送风热风循环系统，风源由循环马达运转带动风轮经电热器，将热风由风道送至烤箱内部，且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热，省电节能温度均匀性好，过滤效率99.99%，Class 100；

Ø  强制送风循环方式，双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到温度控制精度。

晶圆百级洁净烤箱，可编程洁净烘箱配件

Ø  高性能程序控制器PF900 TOPPAGE

a)   一目了然、直观的显示 

b)   搭载了新的控制算法「RSS(升降温・恒温・稳定)」 

c)   程序程式输出功能(Z多3点) 

d)   大容量 Z多1024段程序 

e)   双模式信号输出 

f)   对应各种状况(程式终止状态、等待判断等) 

g)   综合管理大量的设定值，存储组功能 

h)   程序联合运行功能(控制器间的通信) 

i)   前面板接口专用通信+程序设定工具 

Ø  耐高温GX空气过滤器(HEPA)

a)   特点：效率高、阻力低、容尘量大；

b)   外框材质：不锈钢;

c)   材料：超细玻璃纤维滤纸;

d)   隔板：铝箔;

e)   过滤效率：≥99.99%;

f)   显示直观，操作简单