产品库

日本进口Kosaka台阶仪ET150粗糙度轮廓仪

产品信息
ET150配备了各种型号探针,提供了通过程序控制接触力和垂直范围的探头,彩色 CCD原位采集设计,可直接观察到探针工作时的状态,更方便准确的定位测试区域。
                                                                     Kosaka ET150台阶仪

   株式会社小坂研究所(KOSAKA)是于1950年创立,也是日本家发表光学杠杆表面粗糙度计,是一家具有悠久历史与技术背景的专业厂商,主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为Z具代表性单位且在日本精密测定也占有一席无法被取代的地位。 

   KOSAKA ET150基于 Windows XP操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析,包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石(钻石)探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET200 能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数

 

    ET150配备了各种型号探针,提供了通过程序控制接触力和垂直范围的探头,彩色 CCD原位采集设计,可直接观察到探针工作时的状态,更方便准确的定位测试区域。  

产品特点:

二次元表面解析,可测量段差

高精度、高分辨率和良好的再现性

FPD面板显示,可测定微细表面形状、段差、粗度等

低测定力,可测定软质材料


主要应用
---膜厚测量
 

       前制程机台(如曝光机、溅镀机、蚀刻机)best recipe 找寻。例如:PVD、CVD、DLC真空溅镀薄膜台阶、应力测试及软质光阻材料等薄膜台阶测量。

技术参数:

型号

ET150

样品尺寸

φ160x48mm

样品台

尺寸

φ160

倾斜度

±2°(X,Y手动)

承重

2Kg

检出器

触针力

10μN-500μN(1mg-50mg)

范围

600μm(0.1nm分辨率)

驱动

直动式(差动变压器)

触针

R2μm  顶角60°

X轴

测长

100mm

直线度

0.02μm/100mm

速度

0.005-20mm/s

重复性

±5μm(定位)

Y轴

测长

25mm/手动

Z轴

测长

50mm

放大倍数

垂直

50-2000000

水平

1-10000

监控系统

摄像装置

1/3 inch CCD

监视装置

视频捕捉板

移动方法

手动

辅助功能

教学、机动倾斜、倾斜度分析、检出器自动停止功能等

应用

成像、台阶、粗糙度、波纹度和倾斜度

重复性

1σ1nm

电源

AC90-240V  50/60Hz 300VA

外观尺寸

W500xD440xH630mm 120Kg(不含防震台)

 


信息声明:本产品供应信息由仪器网为您整合,供应商为(上海昭沅仪器设备有限公司),内容包括 (日本进口Kosaka台阶仪ET150粗糙度轮廓仪)的品牌、型号、技术参数、详细介绍等;如果您想了解更多关于 (日本进口Kosaka台阶仪ET150粗糙度轮廓仪)的信息,请直接联系供应商,给供应商留言!
供应商产品推荐
    您可能感兴趣的产品