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IR-150 在线气体浓度计IR-150 北京宏昌信科技有限公司 价格优惠优质服务

产品信息
是否提供加工定制品Pai在线气体浓度计IR-150
型号IR-150类型在线气体浓度计IR-150
显示方式在线气体浓度计IR-150分辨率在线气体浓度计IR-150
电源电压在线气体浓度计IR-150(V) 环境温度在线气体浓度计IR-150(℃)
公司:北京宏昌信科技有限公司:孟小姐 : :-830邮箱:在线气体浓度计IR-150概要在线气体监测仪 IR-150系列是使用了NDIR法(非分散型红外吸收法)的半导体气体浓度监测仪。它可以在线检测用于化合物半导体制造工艺的液体材料 TMAI、TMGa、TMIn、DEZn 等固体以及液体材料中发生气化的气体浓度。特点适于MOCVD用液体,固体材料气体的浓度管理实现了与MFC相等的操作通用性和价格统一性。在线实时检测浓度。配备有安全探测安全系统(SDSS),支持将来的300mm全自动晶圆生产。系统中包括浓度、压力的报警,和报警输出。小巧、可随意安装设置,不需要选择空间具备超群的性价比,适于生产线中的浓度管理。
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