Nanoworld 轻敲模式探针-Arrow NCR

A R R O W ™硅 A F M 探 针

独特的箭头形状，针尖视界的化 ，定位更容易

Nanoworld 轻敲模式探针——Arrow NCR 

Arrow™ - Non-contact / Tapping™ mode - Reflex coating

概况

• 用于高分辨扫描成像的SPM、AFM探针 

• 适合于所有商业SPM和AFM

• 单晶硅支架支撑着悬臂和针尖(单块设计)

材料特点

• 高度掺杂单晶硅 (电阻率为0.01 - 0.025 Ohm•cm)

• 没有内部压力，并带完全挺直的悬臂

• 可以用于液体或者电化学细胞的化学惰性硅

悬臂

• 长方形悬臂具有三角形的自由端

• 由于 Arrow™形状，兴趣区的定位很容易

• 针尖与悬臂端中间有一致距离

• 宽广背面的梯形截面，为了简单地调整激光

支架

• 支架的规格可复制的(1.6 mm x 3.4 mm)

• 支架的刻蚀角落避免支架和样品中间的接触

针尖

• 针尖高度为 10 - 15 µm，曲率半径典型< 10 nm (保证的 <15 nm)

• 探针的宏观半锥角

- 沿着悬臂轴为30° 至 35°

- 从侧面看为20°至25°

包装规格

• 装 10、20、50个扫描探针的小包装

• 装380个扫描探针 (看产品种类) 的整个圆片包装

 
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常用探针型号：

探针对AFM成像质量的影响很大，多数情况下，AFM图质量差就是因为探针钝了，或者多针尖引起的。

一根AFM探针包含三个部分。一，基片（Substrate）；二，微悬臂梁（Cantilever）；三，针尖（tip）；很多情况下，说针尖也是指整个探针。

材质：

1. 轻敲探针：一般是单晶硅，型号如RTESP；

2. 接触模式探针：材质是SiN，而新型号的SNL接触探针，悬臂梁是SiN，而针尖则Si（曲率半径2nm左右），这种探针可以提供接触模式下的分辨率图；

3. 功能探针：如磁力探针（MESP），导电探针，则是在普通的硅探针的基础上再镀上相应的材料。MESP的镀层是Co/Cr，SCM-PIT的镀层是Pt。

指标：

探针的指标主要分三个部分，分别对应了基片，微悬臂梁，和针尖三个部分。

1. 基片，就是基片的长，宽，高，各种探针的基片尺寸是基本一致的。

2. 悬臂梁，分为矩形梁和三角形悬臂梁，他们的长宽厚的几何尺寸决定了悬臂梁的弹性系数和共振频率。而弹性常数K是探针的很重要的一个参数，一般来说，接触模式的探针的弹性常数小于1N/m。轻敲模式的探针的悬臂梁弹性系数从几个N/m到几十个N/m。常用的RTESP的弹性常数是40N/m。

3. 针尖，针尖的的几何形状是一个四面体。指标主要有，曲率半径(Tip Radius)，探针高度（Tip Height），对应于四面体的指标，前角（Front Angel），后角（Back Angel），侧角（Side Angel），还有一个是Tip Set Back，对应的是针尖离悬臂梁Z末端的水平距离。

常用探针型号介绍

1. 轻敲模式，RTESPA-300，TESP，FESP

2. 接触模式，SNL，NP，

3. 智能扫描模式：Scanasyst air,ScanAsyst-fluid,ScanAsyst-Fluid+

4. 磁力显微镜，MESP-V2,MESP-RC-V2

5. 静电力显微镜，导电AFM，等电学测量模式，DDESP，SCM-PIT，SCM-PIC等。