HMDS真空烘箱，可充HMDS气体真空烘箱

       hmds烘箱内外采用医用级316L不锈钢制造，加热管均匀分布在内胆外壁四周，箱体内无任何电气元件。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。箱门闭合松紧可调节，整体成型的硅橡胶密封圈，确保箱内高真空度，同时防止HMDS气体外漏。箱体采用优质材料制造，无发尘材料，适用于100 级光刻车间净化环境。18016281599为您服务！

二、技术参数：

工作室尺寸：450*450*450（mm）

控温范围：室温+10℃-250℃

温度分辨率：0.1℃

温度波动度：±0.5℃

达到真空度：133Pa

电源电压：AC 220V±10%/50Hz±2%

输入功率：2400W

载物托架：2块

真空泵：旋片式油泵。

尾气排放：尾气将由真空泵抽出，排放至废气收集管道。