| 品Pai： | MKS | 型号： | πMFC |
| 类型： | 质量流量计 | 测量范围： | 10 sccm – 50 slm。（m3/h） |
| 精度等级： | 1％ | 公称通径： | 6.35（mm） |
| 适用介质： | H2,O2.N2 | 工作压力： | 0.4（MPa） |
| 工作温度： | 40（℃） | | |
ALTA®系列金属密封数字质量流量控制器ALTA® 1480A/180A数字质量流量控制器/质量流量监视器，满量程范围从10 sccm– 30 slm。ALTA® MC20A数字质量流量控制器，满量程范围从20 – 300 slm。MASS-FLO®系列金属密封质量流量控制器1479A/179A质量流量控制器/质量流量监视器，其满量程范围从10 sccm – 20 slm，各种模拟和数字通讯口可选。M330B低压质量流量控制器，其满量程范围从5–100 sccmM330H高温型(150℃）质量流量控制器，其满量程范围从10sccm – 40 slmMASS-FLO®系列橡胶密封质量流量控制器1179A/2179A质量流量控制器/带截至阀质量流量控制器，其满量程范围从10 sccm – 20 slm，模拟和数字通讯口可选。M100B/M10MB质量流量控制器/质量流量监视器，其满量程范围从10 sccm–50 slm1559A/558A大流量质量流量控制器/质量流量监视器，其满量程范围从20– 200 slm1579A/579A大流量质量流量控制器/质量流量监视器，其满量程范围从50 – 300 slm全线代理美国美国MKS的系列产品:等离子体电源及反应气体发生器Power & Reactive Gas真空技术Vacuum Technology流量测量及控制Flow Measurement & Control压力测量及控制Pressure Measurement & Control气体分析Gas Analysis控制信息与技术Control Information & Technology超小型检漏仪Leak Detector校准系统Calibration电离化与工业静电控制Ionization & Industrial Static Control集成子系统Integrated Subsystems医用电子系统Medical Electronics生物医药应用Biopharmaceutical有采购需要，请和我们联系，欢迎洽谈！
