Inficon真空计 PEG100潘宁真空计 冷阴极潘宁真空规

Inficon英福康真空计   PEG100潘宁真空计  PEG100冷阴极潘宁真空规

INFICON 潘宁真空计 PEG100 提供可靠的真空测量. 坚固耐用的潘宁冷阴极传感器没有可烧毁的灯丝. 由于钛阴极板和等离子点燃后高电压的降低, 真空计还可工作于溅射应用中. 除对数模拟输出讯号外,Fieldbus 选项可使用 Profibus DP 或 DeviceNet 协议, 容易地集成在真空系统中.

Inficon英福康真空计   PEG100潘宁真空计  PEG100冷阴极潘宁真空规优势：

宽的测量范围从 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴 (7.5 x 10-10 至7.5 x 10-3 乇)

全金属冷阴极传感器(潘宁)带陶瓷馈入件

创新的电极形状提供了的点燃性能

等离子点燃后降低高电压和钛阴极板降低污染危险性,甚至在用氩气的溅射过程中

阳极环和钛阴极易于清洗或更换

真空计邻近Z小的磁场强度

LED 指示灯用于指示电源 on 和等离子点燃

对数模拟输出讯号

现场总线接口 (Profibus DB, DeviceNet) 为易于集成使用网络通讯的真空系统中

Inficon英福康真空计   PEG100潘宁真空计  PEG100冷阴极潘宁真空规应用：

高真空压强监测

蒸发和溅射系统

中, 高真空范围的一般真空测量与控制