Inficon真空计 CDG100D电容膜片式真空计

INFICON SKY CDG100D 真空计是用于高精度总压强测量和控制的选择. CDG100D真空计是在 100°C 下温度控制的, 在要求高的半导体和等离子过程中具有的性能.可供应的真空计包括全量程范围从 100 毫乇至 1000 乇, 具有全部常用的法兰型号和现场总线接口和提供线性 0至 10 伏, 与气体类型无关的压强讯号. INFICON 电容真空计采用抗腐蚀的超纯氧化铝陶瓷膜片. 陶瓷传感器的优势是更好的讯号稳定性, 快速地从大气压恢复, 短的预热时间和超长的使用寿命. INFICON CDG 是高质量, GX益的压强传感器用于高要求的半导体,等离子和真空应用.

瑞士Inficon英福康真空计  CDG100D电容膜片式真空计优势：

拥有成本低, 预热快 50%, 能效高,低功耗

易集成,规格齐全的全量程, 法兰和接口, 标准型号有两个设点

简易的一键按钮或运距讯号调零指令,零点偏移可调整

诊断口用于快速服务和维护

两年保用期,带有先进的加热概念和真空计保护的长使用寿命

由于的讯号稳定性和再现性, 即使在严酷的等离子

应用中也无长期再校准的需要

兼容性和标准: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

瑞士Inficon英福康真空计  CDG100D电容膜片式真空计用途：

刻蚀, PVD, CVD 和其它半导体过程

化学和腐蚀性的高温过程

一般薄膜和真空过程要求的真空计保护