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DHRP-1 电感耦合射频等离子体实验仪

产品信息
加工定制:是品Pai:DH型号:DHRP-1
类型:物理教学仪器材质:.测量范围:.
适用范围:.
DHRP-1电感耦合射频等离子体实验仪本装置将射频源产生的频率为13.560MHz的射频功率电磁波,加至反应容器外面的电感线圈,用电感耦合方式耦合到工作气体中,使其放电产生等离子体.这种方式具有放电效率高、无电极放电污染的特点,并可以获得纯净的等离子体.装置适合大学物理、材料、化学等领域的学生实验,培养学生掌握等离子体物理及其技术的应用,或作为科学研究之用.可开设的实验1、等离子体消毒灭菌实验,如大肠杆菌(8099)、金黄色葡萄球菌(ATCC6538);2、等离子体材料表面改性实验,如纸张亲水性、纸张接触角;3、等离子体材料表面清洗实验;4、等离子体聚合实验.主要技术性能1、反应室工作压强:5~1000Pa;反应室石英管腔体尺寸:Φ80mm×180mm;2、由500W射频源、放电腔体、气源调节系统、真空系统等组成,射频频率:13.560MHz;3、设有透明观察窗,可直观观察等离子体的放电现象及特性;4、真空系统:采用旋片真空泵,单相220V交流电源,极限真空6×10-1帕,抽速4升/秒;5、供气系统:有两路独立供气气路,通过转子流量计控制流量;6、可以处理金属和非金属等任意的材料,不受被处理材料是否导电的限制,同时避免电极大量放热和蒸发腐蚀污染的问题.
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