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日本ZY精机 压电陶瓷系列滑台

产品信息
品Pai:日本ZY精机型号:NPS-103C产品适用范围:高速高精度定位的装置或实验用途的平台
NPS-103C规格(NPS-103C Specification)
移动方向X轴一个方向
行程±15mm
台面大小125 mm×125 mm
驱动方式压电陶瓷驱动
材料钢材
负载49N (5kgf)
导轨V型槽和十字滚珠
分辨率5 nm

直线度

0.003 mm(水平,垂直)
5 sec(俯仰,摇摆)
定位精度0.0025mm
重复定位精度±0.00002mm
Z大速度0.8mm/sec
质量本体:3.5Kg
控制器:8Kg
坐标表示范围-99,999,999~99,999,999
通信方式RS-232C
电源电压AC-100V 50/60Hz
控制器尺寸W320mm*H178mm*D270mm
适用手柄QT-K
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