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表面微污染检测机轻易的发觉生产设备上的Particle的落点有效提高制程良率特点 相对于一般无尘室内广泛被使用之手持式Particle counter或者是落尘监控设备只能检测出环境落尘品质（如FED-STD-209E Class 1000/10000或ISO 14644-1 Class 6/7)而不能检测出particle落于何处的缺点，透过UV Particle检测机之照射而产生的反差效果，能很轻易的发觉生产设备上的particle的落点处透过无尘布等的擦拭能有效提高制程良率。 UV表面微粒检测机一般有多种称呼方式,如: 微粒子检查灯, 表面检查灯或Particle Inspecter ...等众多不同称呼 ． UV 表面微粒检测机(UV Particle Detector)对曝光机; 显影机 ,蚀刻, 黄光 及偏光板贴附机台效果为显著 ． UV 光 是使用用人体无害的 UVA 波长: 365nm ． 对于制程机台 or Parts Cleaner 机台上之有机物质; 油渍; 水渍; 带静电Paricle;毛屑;纤维;胶类物质Particle 皆可观察 ． 较无法观察金属屑, 玻璃(可用一般强光灯) ． 若背景为镜面不锈钢 或 完全白底 其观察效果较不显著….建议LED绿光表面检查灯辅助照射时所产生的情形适合无尘室各项设备Particle清洁检查，曝光机台框Particle检查，压合钢板Particle检查 / LCD偏光板贴覆机检查 / 热煤油泄露检查。
