一、技术参数:1.靶（上部电极）：材料：金，直径：50mm，厚度：0.12mm(大约)2.真空室：直径：160mm，高：120mm3.样品台（下部电极）：溅射面积：直径：50mm4.离子电流表：Z大电流：50mA5.定时器：长时间：900S6.Z高电压： -1600V7.机械泵: 2升/每秒8.外形尺寸：360*300*380二、主要特点1.轻便、溅射面积大2.靶材可按用户要求加工制作三、仪器介绍:本仪器适用于扫描电子显微镜样品镀膜导电膜(金膜),仪器操作简单方便,是配合中小型扫描电子显微镜制样必备的仪器。同时广泛应用于电极的制作。
