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供应管式电阻炉

产品信息
RGDL系列真空气氛管式炉广泛用于高、中、低温CVD工艺,例如:碳纳米管的研制,试验用碳纤维碳化、晶体硅板镀膜、纳米氧化锌结构可控生长等等,也可用于金属材料的扩散焊接及真空或气氛保护下的热处理。

 

管式电阻炉

应用领域

RGDL系列真空气氛管式炉广泛用于高、中、低温CVD工艺,例如:碳纳米管的研制,试验用碳纤维碳化、晶体硅板镀膜、纳米氧化锌结构可控生长等等,也可用于金属材料的扩散焊接及真空或气氛保护下的热处理。

主要特点                                                        

采用精炼石英管或高纯刚玉管作为炉膛,可拆卸的密封方式,具有良好的洁净度和真空度,耐火保温材料全部采用先进的轻质纤维制品,整机质量轻、低能耗。加热元件采用优质硅钼棒、硅碳棒或进口电阻丝;温度控制系统采用原装进口智能多段程序温度控制仪控制,具有良好的稳定性、均匀性。

技术指标

   

设备型号

RGDL(D)

2/80/44

RGDL(Z)

1/60/30

RGDL(G)

3/60/60

RGDL(D)

1/50/70

RGDL(Z)

2/30/60

RGDL(G)

1/50/80

温区个数

2

1

3

1

2

1

温度

1100

1400

1650

1200

1400

1650

加热区长度

440mm

300 mm

600 mm

500 mm

600 mm

500 mm

炉管尺寸及材料

Φ80石英管

Φ60刚玉管

Φ60刚玉管

Φ70石英管

Φ60高纯刚玉管

Φ80高纯刚玉管

装机功率

5kw

8kw

18kw

8kw

10kw

12kw

备注:RGDL系列管式炉全部可以按照客户要求通入各种惰性、还原性、反应性气体,通过浮子流量计或质量流量计控制气体通入量。同时还可以通过单机机械泵或真空机组预抽真空,系统具备冷态极限真空6.67×10﹣² Pa


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