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实验微波真空炉|微波气氛实验炉iphone5试验/实验用微波真空高温管式炉

产品信息
CMS系列真空高温管式炉专门设计用于高温工艺,如ZnO纳米结构的可控生长、氮化硅渡膜、陶瓷基片导电率测试、陶瓷电容器(MLCC)气氛烧结等等。 窑炉采用氧化铝纤维制品隔热、保温,进口优质微波源加热,优质刚玉管炉膛, 系统可预抽真空,气体采用浮子流量计控制。进口单回路智能温度控制仪控制,设备具有温度均匀、控制稳定、升温速度快、节能、使用温度高、寿命长等特点,是理想的科研设备一

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设  备 型 号

NT-CVD(G)-08/50/1

温区温度  

1650℃;(Z长恒温时间:≥10小时); 

加热有效容积

Φ72(内经)×500mm;恒温区尺寸:Φ72(内经)×250mm  

炉管实际尺寸

Φ80(外径)×1400mm (国产优质刚玉管)

      

氧化铝纤维制品

控制温区点数

1个,1支B分度热偶

设备温场温差

±1℃ ,

加 热  元 件

优质进口微波源

加热功率  

4Kw

保 温 功  率

1kw

升温速率

10℃∽120℃/min;

降温速率

3℃∽7℃/min

温度均匀性

±3℃(有效范围:Φ72×250mm)

气路配件材料  

气路配件材料,端头不锈钢发兰密封,一路气体采用浮子流量计控制,所有管道和阀门采用不锈钢元件

      

10Pa(常温) ,一级机械泵(配电磁阀)。

压升率

5Pa/h

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