STACIS III 压电主动式消振系统

STACIS III压电主动式消振系统 ,它装有惯性振动传感器, JZ的控制逻辑与高端技术的压电制动器。 STACIS® 可实时侦测地面振动, 再凭借压电晶体的收缩或膨胀即刻消除地面振动。

起初 STACIS® 是为微刻机，度量仪与半导体工业的检测而设计。如今已经成为不于半导体产业，更是破坏分析，奈米产品研发制造，材料科学业界等Z敏感精密仪器在吵杂环境中使用的标准消振设备。

STACIS® III相较于其前身的STACIS® ，它有新的控制系统-- DC-2020。其中有新的双核运算处理器。ETHERNET与USB接口于前后两面。这个先进的控制系统可直接由前端显示屏操作。在过往的千百个成功案例中，STACIS® III 系统不愧为大多数敏感精密仪器的主动式消振系统的选择.

由于刚性百倍优于其它的气垫式减振器，STACIS® 不受一般气垫式减振器所面临的稳定与过 大位移的能力限制。与气垫减振器不同的是它并无软性悬浮装 置,因此可以装置在已有内置气 垫减振系统的仪器下, 使得两个系统各发挥功效。

STACIS® 系统使用独特的串联方式与高强度的压电制动技术,使得它完胜于其它减振系统, 能在0.6赫兹到150赫兹的有效频段真正使用主动方式消振。 在2赫兹以上能消减90%的振幅量。