Auto Wafer 300 全自动晶圆键合扫描显微镜

Auto Wafer 300 全自动晶圆键合扫描显微镜是一款专门应用于晶圆键合在线检测的设备，可以显著提升客户产品的良率与质量。它可以对键合晶圆界面的空洞，杂质和分层等缺陷进行无损检测

高性能高速XY轴线性马达扫描系统.

编码器分辨率可达15nm

运动控制机构可同时控制X,Y及4个Z轴，同步触发，光学编码器等。

• 500MHz带宽高性能脉冲激发装置
• 4Auto Wafer 300 全自动晶圆键合扫描显微镜块集成在工控机内部的数模信号转换卡(ADC卡)，采样频率为1.25GSPS,整个系统采用4通道设置，采用数字示波器形式的A扫描波形实时显示及界面捕捉，数据生成，归档，显示当前区域的数据门限信号，多种扫描模式。