FGL（RTP）系列滑轨式管式炉（T max 1100℃）

FGL（RTP）系列滑轨式管式炉(T max 1100℃)

   滑轨式管式炉一体化结构设计,用于1100℃以下快速升温快速降温的特殊工艺要求，通过移动炉体实现快速冷却的目的。同时也可以预先设定温度，然后移动到样品处，达到快速升温的效果。适合使用广泛的RTP工艺及CVD石墨烯工艺。

特点

1. 工作温度RT～1000℃。
2. 智能程序控温仪控制JZ,可编辑、储存并调用多段程序。

1. 采用陶瓷纤维FEC加热模块，电阻丝内嵌式环绕加热。
2. 炉壳结构，双层炉壳风冷结构。
3. 不锈钢双层密封法兰，进、出气美标针阀。
4. 两端可调节式法兰支撑结构，延长石英管的使用寿命。
5. 超温保护功能，当温度超过允许设定值自动断电。
6. 安全保护当炉体漏电时自动断电。

额外选配    

  炉内测量系统（氧含量检测系统、温度检测系统）；

真空系统（旋片式机械泵、扩散泵机组、分子泵机组）；

气氛系统（浮子流量计、质量流量计）；

监控系统：（温度记录仪、触摸屏远程监控）；

           注：选件需配置拓展柜体；

技术参数

注：给出的温度为工作管外测定，其它温区个数和加热区长度可根据客户工艺要求定制。