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利用特制的高能高臭氧UV紫外线光束照射有机气体及空气中的氧分子，裂解有机气体的分子键，并分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧)。游离状态的污染物分子与臭氧氧化结合成小分子无害或低害的化合物，如CO2、H2O等。从而达到净化气体的效果。