iH80 英国进口爱德华干式真空泵维修保养iH80
- 品牌：爱德华
- 型号：iH80
- 产地：英国
- 供应商：昆山熙日机械设备有限公司
- 供应商报价：面议
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产品库
| 品牌 | Edwards/英国爱德华 | 功率 | 3.5kw |
|---|---|---|---|
| 输送介质 | 其他 | 泵轴位置 | 其他 |
| 极限压力 | 1pa | 叶轮数目 | 其他 |
| 重量 | 240kg | 排出口径 | nw40mm |
| 流量 | 103m3/h |
英国进口爱德华干式真空泵维修保养iH80
概述
Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。
iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。英国进口爱德华干式真空泵维修保养iH80
| 峰值速度 | 103 m3h-1 |
| 61 cfm | |
| 1717 l min-1 | |
| 极限真空 | 1 x 10-2 mbar |
| 7.5 x 10-3 Torr | |
| 1 Pa | |
| 典型轴封氮流量 | 4 slm |
| 进气口连接 | ISO63 |
| 出口连接 | NW40 |
| 15 psi 压降下典型冷却水流量 | 120 l h-1 |
| 2 l min-1 | |
| 重量 | 240 kg |
| 极限功率输入 | 2.7 kW |
| 电机额定功率 | 3.5 kW |
| 油容量 | 0.7 l |
所有数字均为无气镇时的典型值。
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