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CRYO-U30H 日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U30H维修

产品信息
品牌 ULVAC/日本爱发科 输送介质 其他
泵轴位置 其他 极限压力 10-7pa
叶轮数目 其他 重量 175kg
标准低温泵 [30型]
CRYO-U30H

 

特点


日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U30H维修

  • 适用于大型成膜装置、太空舱等。
  • 拥有的排除水蒸汽的性能。
外形尺寸 (单位:mm)

    标准规格


    日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U30H维修

    排气速度(20℃)氮气L/s28,000
    氢气43,000
    氩气23,000
    70,000
    到达压力Pa(Torr)10-7(10-9)
    流量氩气Pa・L/s(Torr・L/s)2.7×103(20)
    氢气7.4×102(5.6)
    排气容量氩气Pa・L(Torr・L)7.8×108(5.9×106)
    氢气1.5×107(1.1×105)
    冷却降下时间
    (电力循环)
    min(Hz)240/200(50/60)
    吸气口法兰VG-750
    压缩机装置C30VR×2
    质量Kg175.0

    *维护间隔:16,000小时

    U22H,U30是在国际贸易管理法规定中属于战略物资的出口管制品。
    在出日本国境时请务必办理日本政府的出口许可申请等手续。

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