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CRYO-U20H CRYO-U20P 日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U20P维修

产品信息
品牌 ULVAC/日本爱发科 输送介质 其他
泵轴位置 其他 极限压力 10-7pa
叶轮数目 其他 重量 69kg

设备介绍

标准低温泵 [20型]
CRYO-U20P

 

特点日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U20P维修

  • 适用于大型成膜装置以及批量式大型成膜装置等大型生产装置。
外形尺寸 (单位:mm)

    标准规格


    日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U20P维修

    排气速度(20℃)氮气L/s10,000
    氢气18,000
    氩气8,400
    29,000
    到达压力Pa(Torr)10-7(10-9)
    流量氩气Pa・L/s(Torr・L/s)1.1×103(8.7)
    氢气5.0×102(3.7)
    排气容量氩气Pa・L(Torr・L)5.8×108(4.4×106)
    氢气4.6×106(3.4×104)
    冷却降下时间
    (电力循环)
    min(Hz)180/160(50/60)
    吸气口法兰UVG-500
    压缩机装置C30VR
    质量Kg69.0

    *维护间隔:16,000小时

    标准低温泵 [20型]
    CRYO-U20H

     

    特点

    • 适用于大型成膜装置以及批量式大型成膜装置等大型生产装置。
    外形尺寸 (单位:mm)

      标准规格

      排气速度(20℃)氮气L/s10,000
      氢气18,000
      氩气8,400
      29,000
      到达压力Pa(Torr)10-7(10-9)
      流量氩气Pa・L/s(Torr・L/s)1.7×103(12.8)
      氢气5.0×102(3.7)
      排气容量氩气Pa・L(Torr・L)5.8×108(4.4×106)
      氢气4.6×106(3.4×104)
      冷却下降时间
      (电力循环)
      min(Hz)160/140(50/60)
      吸气口法兰UVG-500,20BANSI,ISO-500
      压缩机装置C30PVRT
      质量Kg72.0

      *维护间隔:16,000小时

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      日本爱发科标准低温真空泵、低温泵CRYO-U20P维修、低温真空泵CRYO-U20H维修

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      如东宿迁徐州合肥芜湖杭州湖州温州台州衢州
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      绍兴金华宁波余姚福州厦门泉州深圳广州珠海
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