激光干涉仪CHOTESE SJ6000机床仪器测距仪

激光干涉仪CHOTESE SJ6000机床仪器测距仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、Z高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析等分析。

一、激光干涉仪CHOTESE SJ6000机床仪器测距仪实物图：

特点、用途、技术参数：

• 产品型号：SJ6000
• 产品名称：SJ6000激光干涉仪
• 测量方式：单频
• 稳频精度：±0.05ppm
• 测量精度：±0.5ppm（0-40）℃
• 线性测量距离：（0-80）m
• 测量分辨率：1nm
• 动态采集频率：50KHz
• 预热时间：≤6分钟
• 工作温度范围：（0-40）℃
• 环境温度范围：（0-40）℃，环境湿度：0-95%
• 主要特点：应用范围广、测量精度高、操作方便

1. 产品简介

　　激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器，在高端制造领域应用广泛。

　　SJ6000激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现Z高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。

SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、Z高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

2.产品配置

　　SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。

其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。

3.工作原理

　　激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉（见图）。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。

　　若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。

4. 产品功能特点

◆精度高

　　SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。

◆功能广

  ● 可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；

  ● 可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；

  ● 可实现对机床回转轴的测量与校准；

  ● 可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；

  ● 具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；

  ● 支持手动或自动进行环境补偿。

◆软件强

  ●  友好的人机界面；

  ●  丰富的应用功能模块；

  ●  向导式的操作流程；

  ●  简洁化的记录管理；

  ●  支持中文、英文和俄文界面；

  ● 支持企业专属模板定制。

三、使用环境几保养：

1、仪器应放置在干燥、清洁以及无振动的环境中应用。
2、在移动仪器时，为防止导轨变形，应托住底座再进行移动。
3、仪器的光学零件在不用时，应在清洁干燥的器皿中进行存放，以防止发霉。
4、尽量不要去擦拭仪器的反光镜、分光镜等，如必须擦拭则应当小心擦拭，利用科学的方法进行清洁。
5、导轨、丝杆、螺母与轴孔部分等传动部件，应当保持良好的润滑。因此必要时要使用精密仪表油润滑。
6、在使用时应避免强旋、硬扳等情况，合理恰当的调整部件。
7、避免划伤或腐蚀导轨面丝杆，保持其不失油。

1、仪器应妥善地放在干燥、清洁的房间内，防止振动，仪器搬动 时，应托住底座，以防导轨变形。 　 

2、光学零件不用时，应存放在清洁的干燥盆内，以防止发霉。反光镜、分光镜一般不允许擦拭，必要擦拭时，须先用备件毛刷小心掸去灰尘，再用脱脂清洁棉花球滴上混合液轻拭。
3、传动部件应有良好的润滑。特别是导轨、丝杆、螺母与轴孔部分，应用T5精密仪表油润滑。
4、使用时，各调整部位用力要适当，不要强旋、硬扳。
5、导轨面丝杆应防止划伤、锈蚀，用毕后，仍保持不失油状态。
6、 经过精密调整的仪器部件上的螺丝，都涂有红漆，不要擅自转动。