SPC 150 透射电镜样品杆清洗仪
- 品牌：欧屹科技
- 型号：SPC 150
- 供应商：北京欧屹科技有限公司
- 供应商报价：面议
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产品库
| 价格区间 | 5万-10万 | 产地类别 | 国产 |
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透射电镜样品杆清洗仪德国莱宝涡轮分子泵和无油隔膜泵的配合产生一个洁净的< 5*10-6 Torr的真空压强。特别适用于TEM 透射电镜样品杆的真空检漏和等离子体清洗用途。采用远程ICP 射频离子源清洗，GX、低等离子体轰击损伤。标配两路清洗气体流量控制器，触摸屏控制，即插即用。
透射电镜样品杆清洗仪技术规格
| 技术规格 | 参数 |
| 泵组 | 德国莱宝涡轮分子泵 90iX+隔膜泵DIVAC0.8T |
| 分子泵入口法兰 | DN 63 ISO -K （标准） |
| 分子泵抽速 | 90 L/s （N2） |
| 前级泵 | ~15 L/Min |
| 极限真空 | <3*10-6 Torr |
| 泵组启动时间 | <200 s |
| TEM样品杆配件 | 适用于FEI、JOEL等品Pai样品杆可选 |
| 样品腔室尺寸 | ~Ø 150 *140 mm， 其他尺寸可定制可以放置Z多3路TEM hoder |
| 等离子体清洗源 | 远程ICP 射频源原理，手动匹配 |
| 清洗电源功率 | 13.56 MHz RF电源，5-50W 可调 |
| 清洗气体控制 | 标配外接2路MFC流量计控制，可以外接如Ar或O2等清洗气体 |
| 真空规 | 德国Leybold Vacuum全量程复合规 |
| 操作方式 | 三菱触摸屏控制 |
| 重量 | ~30 kg |
| 尺寸 | ~500 mm长*450 mm宽*500 mm高 |
| 电源 | 220V AC，50/60Hz 接地三脚插头 |
| 功耗 | ~400 W |
| 冷却方式 | 风冷 |
| 质量保证 | 一年免费/终身维护 |
| 备注 | 以上所列技术规格与参数更新恕不另行通知，如有疑问请 |
