PTL-VM500 PDMS键合专用小型真空等离子清洗机

PTL-普特勒真空低温等离子技术

    PTL真空等离子系统致力于为航空航天、汽车工业、半导体制造、纺织技术、电子微电子、生物工程、医学YL、塑料橡胶、科研开发等行业客户提供解决方案，以帮助客户提高产品质量、提升生产效率，同时降低对环境的不良影响。
     PTL等离子清洗和等离子刻蚀设备。采用集成化技术开发生产射频频率为40KHz、13.56MHz，以及代表等离子应用前沿技术的2.45GHz的等离子清洗机。

PDMS键合专用小型真空等离子清洗机

PTL真空等离子表面处理系统的特点：

等离子清洗机清洗效果好，效率高，应用范围广。

对清洗样品，没有任何材质、外观尺寸等要求

等离子清洗过程中，温升很小，基本可达到常温处理。

射频功率无极连续可调。

GX的特制电极，是产生均匀等离子体的保证。

特制电极和托盘结构，可充分利用真空舱体内部空间，使处理效率Z大化，同时也可保证样品可得到全面有效的清洗。

特有的过载、短路和过热保护电路，可保证射频电源的稳定和安全。

设备整体模块化设计，安装与维护极为简单。

PDMS键合专用小型真空等离子清洗机

  PTL真空等离子系统构成

    PTL系列低压等离子清洗系统由真空腔体及高频等离子电源、抽真空系统、充气系统、自动控制系统等部分组成。工作基本原理是利用真空泵将工作室进行抽真空达到30-50Pa 的真空度，再在高频发生器交变电场的作用下，将气体进行电离，形成等离子体（物质第四态），其显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的彩色可见光，材料处理温度接近室温。活性等离子对被清洗物进行物理轰击与化学反应双重作用，使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质，经过抽真空排出，从而达到清洗目的，并且得到了表面亲水性、拒水性、低摩擦、高度清洁、激活、蚀刻等各种表面改性 。

  PTL真空等离子工艺的工艺范畴

    PTL真空等离子系统广泛应用于：等离子清洗、刻蚀、灰化、涂镀和表面处理。产品主要分布在电子、LED、太阳能光伏、集成电路、生命科学、半导体科研、半导体封装、芯片制造、MEMS器件等领域。其配件均选用其行业的Z优质产品，以保证性能技术稳定。