SF6大容量罗兹泵真空泵装置

为 了保护真空泵，真空泵前的电磁阀在过压的情况下不能打开。真空泵和罗兹泵从开始就一起启动。空气流经罗兹泵的旁通管。罗兹泵在压力低于30mbar时达到 其Z大的抽气功率1000m3/h， 能够防止真空泵装置通常发生的在低压下抽真空能力的下降，实现气室的良好干燥和快速除气的目的。