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TP-TPY-2 自动椭圆偏振测厚仪/椭圆偏振测厚仪/测厚仪 厂家

产品信息

自动椭圆偏振测厚仪/椭圆偏振测厚仪/测厚仪 厂家 型号:TP-TPY-2

产品特点:

仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率,具有精度高、灵敏度高以及自动控制等特点。光源采用氦氖激光器,功率稳定波长精度高。

仪器采用USB接口与电脑连接,配套软件功能齐全,具有多样数据采集及处理方式,适用于不同用户的需要。

 

规格与主要技术指标:

测量范围:薄膜厚度范围1nm-4000nm     折射率范围:1-10   

测量Z小示值:≤1nm                  入射角:20°- 90°精度≤0.05°

度盘刻度:每格1度                    允许样品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm

偏振器步进角:0.014°/步               偏振器方位角范围:0°- 180°    

测量膜厚和折射率重复性精度分别为:0.5nm和0.005

仪器测量精度:±0.5nm(薄膜厚度在10-100nm时)

光学ZX高度:80mm   

 

成套性:主机、电控系统、USB接口、配套软件(需配计算机)

主机重量:26kg    外形尺寸:680*390*310mm

装箱单

序号

名      称  

规格或型号

数量

备 注

1

自动椭圆偏振测厚仪主机

TP-TPY-2

1台

 

2

主机电控箱

TP-TPY-2

1台

 

3

Q9连接线

 

1根

 

4

数据连接线

 

1根

 

5

电源线

 

2根

 

6

15线连接电缆

 

1根

 

7

USB连接电缆

 

1根

 

8

二氧化硅膜样片

 

1张

 

软件安装盘

TP-TPY-2

1张

 

10

使用说明书

TP-TPY-2

1份

 

11

装箱单

TP-TPY-2

1份

 

12

产品合格证

TP-TPY-2

1份

 

 

 

 

 

北京恒奥德科技有限公司  

电  话:/51666869/

传  真:                      

手  机:/             

  :2820129828/1575574360/1321298635/1445496132

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地  址:北京北洼路90号院16号楼317室(北京市地质工程勘察院院内)

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