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BXS10-SGC-I 椭圆偏振测厚仪 椭圆偏振厚度分析仪 椭圆偏振厚度仪

产品信息

椭圆偏振测厚仪 椭圆偏振厚度分析仪 椭圆偏振厚度仪

型号:BXS10-SGC-I

※ 测量范围 1nm-300nm

※ 测量Z小值 ≤1nm

※ 入射角 30°- 90° 误差≤0.1°

※ 偏振器方位角读数范围 0°- 180°

※ 度盘刻度 每格2度

※ 游标Z小读数 0.05°

※ 光学ZX高度 152

※ 工作台直径 ?70

※ 外形尺寸 730*230*290

※ 主机重量 20kg

 

 

 

 

 

 

 

                                                                   

椭圆偏振测厚仪 椭圆偏振厚度分析仪 椭圆偏振厚度仪

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