工作台
X坐标行程：200mm
Y坐标行程：100mm
X、Y坐标分辨率：0.0002mm
测量准确度：（1+L/100）μm，其中
L为测量长度，单位：mm
平工作台尺寸（mm）：260×270
圆工作台直径：ф213mm
圆工作台角度分划范围：0°~ 360°
圆工作台角度分度值：30"
主显微镜立柱
倾斜范围：±12°
倾斜角度分度值：30'
测角目镜
角度分划范围：360°
角度分度值：1'
轮廓目镜
角度分划范围：±7°
角度分度值：10'
顶针装置
顶针间的Z大夹紧长度：700mm
顶针间能容纳的Z大直径：ф100mm
高顶针架
高顶针架Z大夹持长度：200mm
高顶针架能容纳的Z大直径：ф250mm
数显分度头
数显分度头角度分划范围：0°~ 360°
数显分度头角度分度值：5″
光学定位器
测量范围（mm）：5 ~ 200
测杆垂直方向摆动范围：±3°
Z小探测孔径：ф5mm
Z大探测深度：15mm
定位变动性： <1μm
测量力（N）：0.1±0.03
仪器主机外形尺寸(mm)
长×宽×高=1300×1250×800
仪器重量
450kg
环境要求
室内温度20℃±1℃，相对湿度小于60%
物镜：
物镜放大率
| 总放大率
| 工作距离
| 视场距离
| 1×
| 10×
| 79 mm
| 20mm
| 3×
| 30×
| 69 mm
| 6.7mm
| 5×
| 50×
| 49mm
| 4mm
|
使用双像目镜：
物镜放大率
| 总放大率
| 工作距离
| 视场距离
| 1×
| 14.7×
| 36mm
| 13mm
| 3×
| 42×
| 64mm
| 4.6mm
| 5×
| 65×
| 48mm
| 2.9mm
|
（产品照片仅供参考；本公司保留对产品进行改进提高的权利，届时恕不另行通知客户；本产品配置以装箱清单为准。）
| 
