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XP-703D 半导体自动吸引式气检漏仪微量气体泄漏检测仪

产品信息
新宇宙XP-703D半导体特气检漏仪 （自动吸引式）

 
 

 

特点：

Z适合于检测半导体特气的微量泄漏。

 采用声光报警。

规格

型      号

XP-703D

检测对象气体

半导体材料气体（胂、膦、乙、硅烷、氢气等）

检测原理

型半导体式

采样方式

自动吸引式

可检测浓度

（单位：ppm）

砷烷  磷烷  乙    硅烷    氢气

AsH3  PH3      B2H6     SiH4       H2

0.2     0.3     0.1       0.5       1.0

 

 

检测表示

蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁

应答速度

10秒以内

 

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