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MX51 奥林巴斯MX51半导体检查显微镜

产品信息
品牌 OLYMPUS/奥林巴斯 产地类别 进口

 

MX51金相显微镜

考虑了检查效率的设计

高灵敏度载物台可以迅速决定位置

 

内置离合器的载物台手柄

 

MX51主要操作部件集中在前面,操作人员易于操作,即使长时间操作也不会感到疲劳。专用150mm载物台内置离合器,可实现轻松移动。

MX51金相显微镜快速切换物镜,提高检查速度

电动物镜转换器示意图

电动物镜转换器的切换速度比原来提高了20%。物镜的切换,可以操作按钮瞬时间完成,提高了检查速度。三种洁净类型的物镜转换器可以按需选择。另外,UIS2物镜大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸摄像元件的CCD摄像机,在切换倍率时也不会由视场ZX附近偏离。

 鲜明图像和的分辨率为特点的光学系 多种选择可实现的成像性能

UIS2物镜拥有各种倍率、特殊用途物镜等丰富的产品阵容,可按照用途选用。另外,波像差控制带来的高品质,忠实于样本的中性色彩显示等,UIS2物镜无论是在目视观察中还是在数码影像观察中都能发挥它的性能。

观察影像实例

 

明视场观察

 

暗视场观察

 

微分干涉观察

 

荧光观察

 

 软件方案 使用数码照相机记录和保存数码影像三目镜筒可以安装数码照相机。可以保存和记录数码影像,帮助创建观察报告。可根据用途从图像质量、功能、使用方便性等方面选择数码照相机。 帮助实现多种观察方法的附件 近红外线观察单元

由可见光线领域到近红外线领域的像差校正物镜,和红外线用超广角三目镜筒等,备有各种对应近红外线观察的单元。在晶圆凸出物接触面等的观察上发挥威力。

 

近红外线观察单元

 

近红外线观察

 荧光观察单元在滑杆上追加镜子装置可以对应荧光观察。备有U.B.G激励的反射镜装置,可有效地检查和分析有机EL和残留光刻胶。

 

荧光镜单元

 

荧光观察

 透射照明单元

 

透射照明单元

 

 

光学系统

UIS2光学系统(无限远校正光学系统)

显微镜镜体

2个引导齿轮和齿条的机构

Z轴同轴粗微调调焦,载物台行程范围: 32 mm(从焦面上行2 mm和下行30 mm

行程相同: 15 mm(配合透射光照明)

Z轴微调焦每旋转一周的行程0.1 mm1个单位1μm

调焦机构张力可调

有调焦上限位机构

照明系统

BX-RLA2明视场/暗视场照明器

BX-URA2万能照明器

 

观察方式转换

明视场-暗视场滑块转换法

分光镜组(Z多6个)换镜旋座

可适用观测模式

1明视场法

2暗视场法

3诺曼尔斯基微分干涉衬比法

4、偏振光照明法

5、红外光

1明视场法

2、暗视场法

3诺曼尔斯基微分干涉衬比法

4、偏振光照明法

5荧光照明法

光源

12V100W瓦卤素灯

灯座: U-LH100L-3

水银灯: U-LH100HGAPO

需配备U-RFL-T外接电源

电源整合在MX51显微镜中

透射照明

明视场MX-TILLK照明灯,配备光纤照明附件(MX-TILLK须与MX-SIC6R2配合使用)

电源供应部件

额定电压: 100-120/220-240V~1.8A/0.8A 50/60Hz

连续式亮度调节盘

观察镜筒

U-BI30-2宽场双目镜筒, U-TR30-2宽场三目镜筒, U-ETR4宽场正像三目镜筒(F.N. 22)

U-SWTR-3超宽场三目镜筒, MX-SWETTR/U-SWETTR-5超宽场正像倾斜式三目镜筒(F.N. 26.5)

物镜换镜转盘

U-5RE-2, U-6RE

U-D5BDRE, U-D6BDRE, U-P5BDRE (带有微粉干涉衬比法棱镜滑槽)

载物台

U-SIC4R2/SIC4L2同轴右/左手控制4英寸×4英寸载物台

驱动方法:齿轮/齿条

Y轴止动器:手柄调节

MX-SIC6R2同轴右/左手控制6英寸×6英寸载物台

驱动方法:传动带式

行程:158X轴)×158Y轴)mm

联动方法:离合(内置离合开关手柄)

托架尺寸: 200 x 200mm

透过观察范围: 100 x 100mm

体积与重量

体积:430()×591()×495()mm重量:26kg (显微镜镜体约重11kg)





 

 

 

 

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