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QSH-VCF系列 实验室真空井式坩埚炉 井式实验电炉 井式炉 上海全硕生产

产品信息

 本设备是由石英坩埚(或氧化铝陶瓷坩埚)和不锈钢法兰组成的真空坩埚炉。主要用于煅烧真空或惰性气体保护下的高纯度化合物或扩散半导体晶片,也可用于烘烧或烧结陶瓷材料。




 

二、真空井式坩埚炉参数说明

型号

QSH-VCF-1200T

QSH-VCF-1400T

QSH-VCF-1700T

工作温度

1200

1400

1700

加热元件

电阻丝

硅碳棒

硅钼棒

热电偶

K

S

B

控温方式

51段可编程自动控制,PID调节控温精度

升温速率

0-10

0-20

控温精度

±1

Z大真空度

-0.1MPa

炉膛材料

氧化铝陶瓷纤维板

炉壳

双层炉壳,风冷结构(炉底安装两个散热风扇),炉壳表面温度低于60

额定功率

1KW—8KW

常用炉膛尺寸

Φ240xH220mmΦ40xH300mmΦ60xH300mmΦ80xH300mmΦ100xH300mmΦ120xH300mm

 

 

三、温控程序曲线示意图(六段为例):

 

  
 

四、温控程序对应符号及其意义:

 

提示符

输入数据

意义

C 01

0

起始温度值

t 01

60

从0~300℃的升值时间为60分钟

C 02

300

*个目标温度值

t 02

10

300℃保温时间10分钟

C 03

300

第二个目标温度值

t 03

240

从300~1500℃的升值时间为240分钟

C 04

1500

第三个目标温度值

t 04

30

1500℃恒温时间10分钟

C 05

1500

第四个目标温度值

t 05

260

从1500~200℃的升值时间为260分钟

C 06

200

第五个目标温度值

t 06

-121

程序运行结束,自然降温

 

 

五、常见故障及故障排除 

 

故障现象

故障原因

排除方法

打开控制电源开关Lock无电源指示

控制线路FU1 4A保险丝断

检查有无短路排除后更换保险丝

绿色Power指示灯灭,红色Open circuit指示灯亮。

主电路FU2 32A保险丝断

检查有无短路排除后更换保险丝

电压Z大,无电流。

硅钼棒断裂

更换硅钼棒

仪表SV交替显示OraL

热电偶断路

更换热电偶

仪表SV交替显示HIAL

炉体超过上限温度1700℃仪表起保护

温度降至安全温度后仪表自动恢复正常(检查超温原因)

电源及硅钼棒都正常,但炉体不能升温

控制线路损坏

通知专业维修人员。

 

说明:

1、本产品的规格参数仅供参考,以具体产品实际参数为准,请与销售及咨询客服人员。

2、产品图片及外观尺寸在不断研发更新中、如有更改恕不另行通知。

3、除标准产品外、我公司可根据客户要求,进行设计生产,具体与销售人员。

 

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服务内容: 

 ◇设备保修期:验收合格后12个月内。在保修期内设备因质量缺陷出现故障,我方提供免费服务。

 ◇免费提供技术指导安装及设备调试服务。
 ◇终身优惠价提供易损部件及相关耗材,并协助用户进行设备维护及配件更换。
 ◇可为用户培训技术操作人员,免收培训费,食、宿、交通费用自理。
 ◇可为用户提供相关设备在不同场合下的使用方法及技术指导工作。

 

服务保障体系:

   公司专设售后服务ZX,开通24小时报修,接到报修,维修人员将在12工作日内赶往现场。一般故障48小时内解决,

重大故障3日内解决。
  ◇服务ZX专人专线负责解答用户在设备使用过程中的种种问题。
 ◇:
 ◇电子信箱:yinyl  xialina530 

服务监督:

   为了监督公司维修服务人员的售后服务质量,公司专门设立投诉,将及时、准确的记录用户意见并迅速做出反应。
 ◇:
 ◇电子信箱:xialina530 yinyl

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