多工位旋转管式炉

多工位回转炉CVD炉 

一、多工位旋转管式炉操作便捷性：

1气路连接方式采用了快速连接法兰结构; 真空气氛  旋转电炉 立式管炉 快速退火炉 马佛炉 
2、使取放物料过程简化，只需一支卡箍便可完成气路连接，方便操作。真空气氛  旋转电炉 立式管炉 快速退火炉 马佛炉   
3、取消了复杂的法兰安装过程，减少了炉管因安装造成损坏的可能。真空气氛  旋转电炉 立式管炉 快速退火炉 马佛炉 

二、 多工位旋转管式炉结构实用性; 多工位回转炉CVD炉 真空气氛  旋转电炉 立式管炉 快速退火炉 马佛炉 
1、加热炉膛有上下两部分组成，其中上部炉膛可整体向后翻转110°，方便取放、观察实验物料，炉膛材料采用优质的多晶莫来纤维真空吸附制成，节能50%，温场均匀。电热元件采取高电阻优质合金丝0Cr27Al7Mo2。
2、密封法兰采用双环密封技术，有效的提高了炉管两端的气密性。气路具有进出气微量可调功能。真空气氛  旋转电炉立式管炉 快速退火炉 马佛炉 
3、两端气路支架，支撑着气路装置。有效消除了气路总成自身的应力，杜绝了因自身应力而造成的炉管损坏。CVD炉 cvd电炉 rtp炉 快速退火炉 立式电炉/管炉 石磨希电炉 RTP
4、先进的空气隔热技术，结合热感应技术，当炉体表面温升到达50℃时，排温风扇将自动启动，使炉体表面快速降温。真空气氛  旋转电炉 立式管炉 快速退火炉 马佛炉 

三、控制智能化; 真空气氛  旋转电炉 立式管炉 快速退火炉 马佛炉 
1、 电炉温度控制系统采用人工智能调节技术，具有PID调节、模糊控制、自整定功能，并可编制各种升降温程序。速激活炉 粉体电炉 快速热氧化炉 管式电炉 立式电炉 箱式电炉多工位回转炉CVD炉 
2、国产程序控温系统可编辑50段程序控温，进口程序控温系统可编程40段程序控温。
3、电炉内配置有485转换接口，可实现与计算机相互连接。通过专用的计算机控制系统来完成与单台或多达200台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能。

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