SM5651 供应扩散硅，风压传感器SM5651
- 型号：SM5651
- 供应商：北京富百纳微电子有限公司
- 供应商报价：面议
- 标签：供应扩散硅，风压传感器SM5651,-1,北京富百纳微电子有限公司
产品库
特点 应用
| l 微压0.15psi、0.30psi、0.80psi、1.50psi、和3.0psi l 恒流或恒压激励 l 温度补偿范围宽（0-60℃） l 跨度校准正高达±2% l 零点校准及温度补偿 l 高性能、稳定的硅芯片封装 l 表压和差压配置 | l YL设备 l 呼吸机、麻醉机和监护仪 l HVAC（空调） l 水平监测 l 流量测量 l 工业控制 l 微差压变送器 |
性能参数
测试的条件是：SM5651激励电流源为1.5mA，室温为25℃；SM5652激励电压源为10.00V DC，室温25℃，除非另有规定。
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| Z小值 | 典型值 | Z大值 | 单位 |
| 激励源 |
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| 激励电压源 DC（SM5652） | >0 | 10.00 | 20.00 | V |
| 激励电流源 DC（SM5651） | >0 | 1.50 | 3.00 | mA |
| 满量程输出 |
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| SM5651满量程输出 | 25.0 | 45.0 | 75.0 | mV |
| SM5652满量程输出 | 24.5 | 25.0 | 25.5 | mV |
| 零点输出 | -2.00 | +0.20 | 2.00 | mV |
| 温度系数 |
| |||
| 满量程温度系数 | -0.65 | +0.20 | 0.65 | %FS |
| 零点温度系数 | -1.00 | +0.20 | 1.00 | %FS |
| 温度迟滞性 | -0.30 | +0.05 | 0.30 | %FS |
| 准确度 |
| |||
| 线性度（非线性误差） | -0.30 | +0.05 | +0.30 | %FS |
| 重复性 | -0.30 | +0.05 | +0.30 | %FS |
| 压力迟滞性 | -0.30 | +0.05 | +0.30 | %FS |
| 灵敏度匹配性 | -2.0 | -0.2 | +2.0 | %FS |
| 阻抗（SM5651） |
| |||
| 输入阻抗 | 1.80 | 3.00 | 3.80 | kΩ |
| 输出阻抗 | 2.70 | 3.30 | 3.80 | kΩ |
| 阻抗（SM5652） |
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| 输入阻抗 | 4.50 | 8.00 | 25.00 | kΩ |
| 输出阻抗 | 2.00 | 2.50 | 3.80 | kΩ |
| 温度范围 |
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| 补偿温度 | +0 |
| +60 | ℃ |
| 工作温度 | -40 |
| +125 | ℃ |
| 存储温度 | -40 |
| +125 | ℃ |
| 动力特性 |
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| 耐压 | 10ⅹ |
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| Rated FS |
| 爆破压力 | 15ⅹ |
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| Rated FS |
备注：
1、正压指的是从晶圆底部进入；增益，在工厂校准使用的是负压
2、对于SM5652,量程为0.15psi的满量程输出是23.75mV（Z小）至26.25（Z大）
3、测量温度超过22~58℃
对于量程为0.15psi，满量程温度系数为±2%FS；零点温度系数为±2%FS；对于量程为0.3psi，满量程温度系数为±0.75%FS
4、对于量程为0.3psi，迟滞性为±0.45%FS；对于量程为0.15psi，迟滞性为±0.65%FS
5、Z佳直线拟合，是从晶圆顶部测量的
对于量程为0.3psi，线性度为±0.5%FS；对于量程为0.15psi，线性度为±2.5%FS
6、灵敏度匹配指的是部分与部分匹配的程度，对于量程为0.15psi，灵敏度匹配性为5.0%FS
