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Talysurf CCI 9150 超精密三维表面轮廓光学系列测量仪

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Talysurf CCI 9150 超精密三维表面轮廓光学系列测量仪

 

概述

超精密三维表面轮廓光学系列测量仪采用相干相关技术进行非接触式表面测量。此类仪器能在仅10秒内完成测量数据点超过百万的表面测量，分辨率高达0.01 nm (0.1 ?)。

该系统专为满足Z苛刻的自动化生产的要求而设计。它非常适合应用在数据存储业，半导体制造业与MEMS等行业。

 

技术特点1. 垂直分辨率高达0.1 ? (0.01 nm)2. 测量噪音（实际测量数据）低至0.2 ? (0.02 nm)3. 标准数据测量点为百万4. AlTiC 与DLC 材料补偿5. 重复性RMS 好到0.03 ? (0.003 nm)0.03 ? (0.003 nm) RMS repeatability

 

亚埃尺度分辨率

Talysurf CCI 9150 对于三维表面轮廓分析来说是无价的。该非接触式三维表面测量系统在垂直方向全程内具备0.1 的Z轴分辨率以及低于0.2 ?的测量噪音等无与伦比的性能。

 

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