美国FEI环境扫描电子显微镜

技术参数：

1.分辨率:
　二次电子:
　　高真空模式 3.0nm @ 30kV, 8nm @ 3kV
　　高真空减速模式 7nm @ 3kV （可选项）
　　低真空模式 3.0nm @ 30kV, 10nm @ 3kV
　　环境真空模式 3.0nm @ 30kV
　背散射电子 4.0nm @ 30kV
2.样品室压力Z高达2600Pa
3.加速电压200V ～ 30kV，连续调节
4.样品台移动范围
　Quanta 250: X=Y=50mm
　Quanta 450: X=Y=100mm
　Quanta 650: X=Y=150mm

主要特点：

1.FEI ESEM（环境扫描电镜）技术, 可在高真空、低真空和环境真空条件下对各种样品进行观察和分析。
2.所有真空条件下的二次电子、背散射电子观察和微观分析。
3.先进的系统结构平台，全数字化系统。
4.可同时安装能谱仪、波谱仪和EBSP系统。
5.可安装低温冷台、加热台、拉伸台等进行样品的原位、动态观察和分析。