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产品信息

IDS-108工业测量显微镜
测量显微镜IDS-108工业测量显微镜
测量显微镜广泛应用于半导体,电子工业进行晶体,集成电路的检验和精确测量。配备有冷光源光纤反射照明,成像和观察系统,偏光装置。
l        无限远光学系统,管镜焦距200mm
l        铰链式三目镜筒,30°倾斜,瞳距55-75mm
l        高眼点、视场目镜WF10X/22
l        五孔物镜转换器
l        长工作距离平场复消色差物镜
Plan Apo 2X/0.055   W.D. 34.6mm  分辨率5μm,
Plan Apo 5X/0.14     W.D. 45mm     分辨率2μm,
Plan Apo 10X/0.28  W.D. 34mm     分辨率1μm,
Plan Apo 20X/0.29   W.D. 30.8mm 分辨率1μm
Plan Apo 50X/0.42   W.D. 20.5mm 分辨率0.7μm
l        调焦系统同轴粗微调焦机构,微动格值0.002mm
l        载物台  6″x8″双层活动平台,移动行程153x204mm
l        三维测量系统  
   分辨率: 1μm
   测量精度:  ±(2+L/200)μm
   重复定位精度:  2μm
   照明系统  Illumination  System
l        冷光源光纤反射照明器:12V150W,特别明亮清晰
l        选配:
   完善和全面的测量软件
--------完整的几何量测(如:点,线,圆,弧,角度等)
--------坐标系的设定,摆正,旋转
--------显示方式多样化;语言的转换,公英制单位的转换,角度的转换

北京京百卓显科技有限公司

www.bjmicro.com

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