特点:
技术参数:
行程:
25mm
Z小刻度
0.01mm
灵敏度
0.002mm
精度
运动直线度
<2μm
运动平面度
运动摆角
10″(50μrad)
台面尺寸
80x110mm
驱动位置
侧边
负载
20kg
自重
0.4kg