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X荧光镀层测厚仪X-Strata960 X荧光镀层测厚仪X-Strata960

产品信息

X-Strata960测厚仪基于25年涂镀层测量经验，在CMI900系列测厚仪的坚实基础上，引进全新的设计：

  • 新100瓦X射线管 - 市场上所能提供的Z强大的X射线管。提高30%测量精度，同时减少50%测量时间

  • 更小的X射线光斑尺寸 - 新增15mil直径准直器，可测量电子器件上更小的部位。提供改进的CCD摄像头及缩放装置，同时提供更高精度的Y轴控制。

  • 距离独立测量（DIM） - 更灵活地特殊形状样品，可在DIM范围内12.5-90mm（0.5-3.5inch）对样品表面进行测量，Z轴可控制范围为230mm（9inch）。可通过手动调整也可以通过自动镭射聚焦来实现对样品的精确对准。

  • 自动镭射聚焦 - 自动寻找振决的聚焦距离，改善DIM的聚焦过程并提高系统测量再现性。也可选择标准的镭射聚焦模式。

  • 全新的大型测厚仪样品室 - 更大的开槽式测厚仪样品室（580x510x230mm : 23x20x9inch）,开槽式设计可容纳超大尺寸的样品。可从各个方向简便的装载和观察样品。

  • 3种测厚仪样品台选项 - XY程控控制（200x200mm或8x8inch移动范围）/XY手动控制（250x250mm或10x10英寸）/固定样品台；标准配置Z轴程控控制（230mm或9inch移动范围）。

  • 测厚仪内置PC用户界面　

 

技术参数

主要规格

规格描述

X射线激发和检测

牛津仪器制造的100瓦（50kV-2.0mA）微焦点钨靶X射线管

高分辨封气（Xe）正比计数器可获取Z高的计数灵敏度，配合二次滤光器机构实现Z佳的检出效果

数字脉冲处理

4096通道数字多道分析器，数字光谱处理过程可获取Z高的信号采集（每秒计数量），从而保证Z好的测量统计结果

手动或自动透镜控制

手动透镜控制：通过手动调整DIM旋钮控制分析聚焦距离

自动透镜控制：激光束自动寻找DIM系统的Z佳分析聚焦距离

自由距离测定

简化系统设置和维护

在聚焦距离范围内仅需要一个校正

对不规则样品更灵活的测量

在12.7mm-88.9mm的自由距离内，可准确测量样品表面的任何一点

通过DIM旋钮或使用自动激光聚焦功能，可快速、准确的确定聚焦距离

 

附带自动透镜功能的自动激光聚焦

独特的、自动样品摆放系统

激光扫描单键启动

消除样品碰击Z轴的机会

改善DIM的聚焦过程

标准激光聚焦

标准激光聚焦功能在所要求的聚焦聚焦上，自动寻找正确的Z轴位置，提高分析再现性，结果不受人为操作的影响

Z轴聚焦扫描单键启动

改善DIM和常规固定焦距测量时的聚焦过程

微小准直器

仪器至少装备一个客户指定规格的准直器以Z优化测量，并提高测量效率

备有各种规格准直器（0.015mm – 0.5mm）,园形或矩形供客户选用

多准直器程序交换系统可同时安装4个准直器

大样品室设计

方便超大样品的推拉式平台：如大面积PCB板、较长的管材样品

大型开发式样品室：方便于从各方向进样和观察样品

三种样品台备选：可编程XY轴样品台、手动XY轴样品台、固定位置样品台

标准配置自动化Z轴：Z大高度230mm

集成化计算机

工作站式设计：改善人机工程学、方便使用

简化设备安装：仅需要接入主电源线，没有其他电缆

减少整机占用空间

USB和Ethernet接口：打印机、刻录机、局域网和远程在线支持功能

其他硬件特点

CCD相机拥有2x、3x或4x的变焦功能，可实现对测定样品的高分辨、实时、彩色图像观测

温度补偿功能监测系统温度，并自动校正由于温度变化可能引起的仪器漂移，保证长期的仪器稳定性

光谱校准、单击鼠标执行系统性能自检和校正程序保证仪器长期的稳定性

坚实耐用的仪器设计适用于各种工业环境

一体化工作站设计实现Z佳的人机工程学
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