UPH-IV-5/10/20T台上式
UPH-IV-20/40/60/100L落地式
主要指标
电阻率18.2 MΩ.cm(电导率0.055μs/cm),重金属离子<0.1ppb,总有机碳(TOC)<3ppb,热源<0.001EU/ml