HPG400 英福康高压强热电离皮拉尼真空计

高压强热电离皮拉尼真空计

HPG400

INFICON 高压强热电离皮拉尼真空计, HPG400, 将高压强热电离与皮拉尼真空计综合

在一个小型, 轻便与经济的规管中, 测量压强从 2 x 10-6 毫巴至大气压（1.5 x 10-6 乇至 大气压）. HPG400 提供高度的重复性和再现性压强测量, 用于精确溅射过程的压强控制.

优 势

■ HPG400 节省成本和设备空间, 降低真空测量的安装与设置的复杂性

■ 高压强热电离真空计从1×10-5 至 1 毫巴为要求高的过程控制提供精确, 可靠的压强测量

■ 用户可选的热电离发射在5×10-2 至 1 毫巴之间起始工作

■ 皮拉尼联锁保护热阴极防止它过早烧毁

■ 备有可选的图形显示器和Fieldbus 接口

■ 高真空皮拉尼自动调整, 减少操作人员的干预

用 途

■ 半导体制造中溅射工艺应用, 电子学和传媒工业

■ 工业镀膜

■ 在低至高真空范围中系统的一般真空测量和控制