M-1000 探针台显微镜 探针检测超长工作距离，超大景深 超长工作距

探针台显微镜产品介绍：全新的一体化设计，具有优异的光学成像质量，方便使用的正像光学系统，是理想的检测半导体器件的工具，支持3种激光波长，可在半导体和液晶基板中使用激光切割和薄膜技术。可以广泛应用于半导体、电子、冶金等行业的制造和研究领域。

探针台显微镜技术指标：

 ●  人机工程头部

M-1000双目观察头可以在3°-　30°转动，调整观察眼点的高度和观察方向，使操作者的使用更加舒适。

●  管镜
M-1000的管镜转盘上装有1X NUV、1X NIR和2X 管镜，三组管镜之间可以根据需要进行切换，切换简单、方便。其中1X NUV对355nm和532nm波长进行了优化，1X NIR对532nm和1064nm波长进行了优化，当使用这3个波长的激光器时，可以得到更好的激光透过率。

●  光路切换拉杆
通过推拉光路转换拉杆可以方便的对光路进行切换。当转换拉杆往外拉时，双目头和摄像接口的分光比为0：100，此时从摄像接口上入射的激光的进入光路，提高了激光效率；当转换器拉杆往里推时，双目头和摄像接口的分光比为50：50，此时即可用双目头观察，同时也可以在摄像接口上使用CCD摄像头或激光器。

●  偏光观察
主体上留有偏光插孔，插上偏光附件(选配件)，可进行偏光观察。

●  调焦机构
M-1000的调焦机构转动舒适，工作可靠。调焦机构Z大可承载45磅(20.4Kg)，确保安装激光器和CCD摄像头后，仍然能够正常工作。

●  转换器
M-1000采用4孔可调中转换器，使用随机配送的调中钥匙，可以很方便地调整物镜的齐中。

●  物镜

M-1000采用长工作距离的无应力平场复消色差物镜，提供了优异的成像质量。关于物镜的具体参数请参照APO物镜样本。

●  数码摄像系统
根据所使用的CCD摄像机的CCD尺寸，选择合适的摄像接头，安装在摄像接口上，组成数码摄像系统，就可以在电脑、电视或监视器上同步观察。

●  照明系统
采用同轴垂直照明系统，光源采用外置冷光源。长达2m的照明光纤和光源遥控器(选配件)给PSM-1000带来更自由的操作空间。

●  探测工作站
M-1000的主体部分可以安装在探测工作站上，进行硅片的测试。

●  激光装置
M-10000的摄像接口处装有激光安全定位销，双目头前留有安装激光安全滤色片的位置，并提供补偿垫片。无需专用的激光工具箱，就可以方便的把激光器和激光安全滤色片安装上。

注:在安装和使用激光器之前，请您仔细阅读激光器和激光安全滤色片的使用手册。由于在PSM-1000上使用激光器和激光安全滤色片而产生的安全和性能问题，麦克奥迪实业集团有限公司对此概不负责。

M-1000主要技术参数