ThermaLever ThermaLeverTM探针

ThermaLeverTM探针区别于以往市面上的普通探针，它是一种批量生产的热探针，主要成分为参杂硅。探针微悬臂的末端装有加热装置，可使探针以一种可控的速率快速升温至400℃。而普通探针则经常需要一些手工制作，或者由于电阻由金属薄膜制成而仅能升至较低的温度。此外，ThermaLeverTM探针的另一个重要优势是探针针尖的末端半径。以前的热探针末端半径总是比标准AFM探针大很多。而 ThermaLeverTM探针提供的横向分辨率则大大超过其他AFM探针。Anasys 公司有两种型号的ThermaLeverTM探针，AN2-200和AN2-300.所有这些探针的的针尖高度在3μm到6μm之间，微悬臂厚度在2μm左右。AN2-300的弹簧常数较低，主要用于接触模式。而AN2-200共振频率较高，主要用于间歇接触模式。下图所示的是AN系列探针的SEM图。左图显示了整个微悬臂的的形貌而右图显示的是针尖附近的形貌。


下表所列的是两种型号热探针的主要技术参数:

探针型号	AN2-200	AN2-300
微悬臂材料	硅	硅
电阻材料	改性硅	改性硅
长度（μm）	~200	~300
厚度（μm）	~2	~2
针尖高度（μm）	3~6	3~6
弹簧常数（N/m）	0.5~3	0.1~0.5
共振频率（kHz）	55~80	15~30
针尖半径	＜30	＜30
Z大可控温度（℃）	350	400
图像模式
接触模式	Y	Y
间歇接触模式	Y	N