技术参数:
主要特点:
1.世界Z高水平的高精度,高速度,高分辨率,全面测量物体的表面形状。
2.驱动部采用线性马达,移动速度快,振动小,免维护。
3.采用了光栅结合激光干涉的检出器,使机器的分辨率达到0.31nm。
4.一次测量即可得到表面粗糙度和轮廓形状同时分析并输出打印。
5.量程大,精度高,具有自动测量等多种功能。