真空氦质谱检漏仪
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产品库
安捷伦真空氦质谱检漏仪应用于工业真空炉、镀膜系统、电子束焊接设备；电厂冷凝器、热交换器、蒸汽管线、地下冲压电缆；高能物理同步加速器、束线、同步辐射光源；电子扫描显微镜、半导体加工、薄膜制备、质谱分析、真空电子管、激光加工等领域。
| 性能指标 | PR02/PD03 | MR15和MD30 |
| 性能 | 前级泵内置式 | 前级泵外置式及小车 |
| 前级泵油式机械泵 | DS-42， 2 m3/hr （34 l/m） | DS-302， 14 m3/hr （232 l/m） |
| 涡卷式干泵 | 干泵-2 m3/hr （34 l/m） | TS-620 30 m3/hr （500 l/m） |
| Z小可检漏率在1000ppm的氦气背景下 | 5×10-12 atm cc/sec；5×10-12 mbar l/s；5×10-13Pa m3/sec ，氦气 | |
| 测试口Z高耐压 | 13 mbar，10 Torr，1330 Pa | |
| 测试口处对氦气抽速 | 1.8 l/s | |
| 校准 | 自动或手动（内置或外置） | |
| 氦本底清零 | 按键清零，并具有零点追踪功能 | |
| 操作界面 | 高清晰彩显，TFT触摸屏 | |
| 语言选择 | 中文/英语/法语/德语/日语/韩语/西班牙语 | |
| 循环检测 | 可编程粗抽时间/测试时间，设置报废点 | |
| 响应时间 | ＜0.5秒 | |
| 设定点 | 标准；5个设定点；常开或常闭；3个漏率点；1个压强点；1个声讯点 | |
| 通讯协议 | RS-232 通讯接口，9600波特率（9芯串口） | |
| 执行标准 | UL，CE，CSA | |
| 无限远程控制（选件） | 2.4GHz ISM, 100m（328ft）, 4AA电池/5VDC电源 | |
