DLTS 德国PhysTech DLTS 高能分辨率深能级瞬态谱测试仪

特点
l 自动接触检查
l 常规测试和加强软件
l 自动电容补偿
l 三终端FET电流瞬态测量
l 大电容和浓度范围
l 灵活性高、模块化硬件
l 支持各种冷却仓和温度控制器
l 傅里叶转换（F-DLTS），比例窗口和用户自定义校正功能
l DLTFS（深层瞬态傅里叶光谱仪）评价
l 直接测量发射瞬态
l 使用28个不同的相关功能（软件）通过一次温度扫描，给出28个温度扫描信号
操作模式
l C-DLTS(电容模式)
l CC-DLTS(定电容模式)
l I-DLTS（电流模式）
l DD-DLTS（双关联模式）
l Zerbst-DLTS
l O-DLTS（光激发模式）
l FET-Analysis
l MOS-Analysis
l ITS（等温瞬态光谱仪）
l 缺陷分析
l 俘获截面测量
l I/V, I/V(T) 查理森Plot分析
l C/V, C/V(T)
l TSC/TSCAP
l PITS（光子诱导瞬态谱）
l DLOS(特殊系统)