零件内表面粗糙度、缺陷、形貌测量仪

零件内表面粗糙度、缺陷、形貌测量仪产品特性
√　任意凹型或凸型物体表面/层的非接触光学检测
√　可检测金属表面的任意形状和微缺陷，而对非金属表面可进行亚表面层分析
√　亚微米精度测试结果不受表面质量的影响，表面可为抛光至很粗糙（平均获得）
√　易附加三维坐标的测量系统
√　独有的侵入式探针传感器可以轻松地进入样品内部探测内表面，这是其他轮廓仪所不具备的

零件内表面粗糙度、缺陷、形貌测量仪产品规格
√　Z大获得速率：16kHz
√　工作距离（fix）：0.4--15mm
√　光斑尺寸（model 80/300）：5um
√　Z细探针直径：0.6mm
√　重复性（在1kHz获取速率下）：+/-0.25um
√　静态精度（在0.1kHz获取速率下）：+/-0.05um
√　Z大移动速度：60mm/s
√　测试波长（model 80/300）：830/1300nm