小型化分子束外延系统(Mini-MBE)

其主要的设计特点包括：

＊ 腔体设计模块化

＊ 结构紧凑，性能价格比高

＊ 控制系统具有大量生长参数

＊ 制备腔和分析腔转换非常容易

＊ 样品可完全操纵

技术指标

标准的样品夹具包含了各种轴向转动的需求，从而0角度的RHEED分析。

纵向生长腔结构具有足够的高度，保证所有蒸发源的进入，这样系统可以长时间的不间断的运行。

模块化的腔体设计使得某个功能结构可以转换，例如蒸发源，如果以后改变研究方向，或者对新的蒸发和沉积技术感兴趣，均可以实现。

每个接口均配置了样品操纵和转换器，并有生长表征仪器，例如RHEED, 椭偏仪, RGA，膜厚仪以及分子束流监控器。

样品操纵装置允许在加热或冷却基质时连续转动，从而达到Z佳的加热效果，1.500°C的高温得以实现。

蒸发源接口可以偶合大部分用户要求的装置，包括125 cc 到 2.000°C的effusion cell，cracker cells，电子束或小型电子束蒸发源，氮气和氧气的gas crackers。

蒸发源在使用过程中，由于快门机械装置的软响应，一直保持着非常高的纯度。

标准的泵体接入口使系统可以连接各种泵包括离子泵，钛泵，分子turbo泵。低温泵也可以安装。

此系统为模块化的结构，也可以按客户要求重新设计一套新的MBE系统。