D07-19B D07-19B 质量流量控制器(MASS FLOW CONTROLLE...
- 型号：D07-19B
- 供应商：北京宏昌信科技有限公司
- 供应商报价：32000
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产品库
D07-19B 质量流量控制器(MASS FLOW CONTROLLER)
用 途:
质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
标 准:
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为：
标准温度………………0℃(273.15K)
标准压强………………101325Pa
输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA;-15V,200mA
输入设定电压…………0～+5.00V
输出电压检测…………0～+5.00V
技术参数：
| 满量程流量范围(N2) | 5SCCM～30SLM | |
| 控制范围 | 2～100％F.S. | |
| 阀类型(及阀初始状态) | 电磁调节阀(常闭) | |
| 准确度 | ≤10SLM | ±1％F.S. |
| ＞10SLM | ±2％F.S. | |
| 线性 | ≤10SLM | ±0.5～1％F.S. |
| ＞10SLM | ±2％F.S. | |
| 重复精度 | ±0.2％F.S. | |
| 响应时间 | ≤4sec | |
| 工作温度范围 | 5～ | |
| 工作压差 | ≤10SLM | 0.1～0.5MPa |
| ＞10SLM | 0.1～0.3MPa | |
| 耐压 | 3MPa | |
| 漏气率 | 1×10-9SCCSHe | |
| 密封材料 | 氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶 | |
| 接头选择 | VCR | 1/4”或φ4hose、φ6hose |
| Swagelok | 1/8”、1/ | |
| 电插头形式 | DB15 pin(Male) | |
| 抗电磁干扰 | CE | |
| 重量 | 0.95Kg | |
