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产品信息

D07-7C 质量流量控制器(MASS FLOW CONTROLLER)

技术参数:

满量程流量范围(N2) 5SCCM~10SLM
控制范围 2~100%F.S.
阀类型(及阀初始状态) 电磁调节阀(常闭)
准确度 ±1.5%F.S.
线性 ±0.5~1.5%F.S.
重复精度 ±0.2%F.S.
响应时间 ≤7sec
工作温度范围 5~45℃

工作压差
0.1~0.5MPa
耐压 3MPa
漏气率 1×10-8atm.cc/sec He
密封材料 氟橡胶、氯丁橡胶
电插头形式 DB15 pin(Female)
接头选择 VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose
Swagelok 1/4”或φ6、φ3
抗电磁干扰 CE
重量 1.1Kg

 

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